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模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研

Writer： admin Time：2021-02-09 19:00 Browse： ℃

Shuttle & Find 将EVO、光学显微镜和数码显微镜组成一个关联的、多模态工作流程

蔡司 EVO 系列

模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研究应用

EVO系列将高性能的扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起，同时能够吸引经验丰富的用户以及新用户。无论是在生命科学，材料科学，或例行的工业质量保证和失效分析领域，凭借广泛的可选配置， EVO 都可以根据您的要求量身定制。

显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案
不同的真空室大小和可满足所有应用要求的载物台选项-甚至是大型工业零部件样品
使用LaB₆灯丝，能够得到优异的图像质量
对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能出色
可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求
优势
便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通过使用您的指尖与其进行交互式工作流程控制。它简单易学，大大减少了培训所付出的努力和成本，甚至新用户在几分钟内也能够捕捉令人惊叹的图像。此用户界面还支持需要自动化工作流程以执行可重复检查任务的工业操作员。

优异的图像质量

EVO 擅长于对未经处理和没有导电涂层的样品获取高质量的数据。EVO 还允许样品保留其原始状态，维持含水和重污染样品的数据质量。此外当成像和微量分析面临挑战时，选用LaB₆灯丝则能够给予更好的分辨率、对比度和信噪比。
EVO 能够与其它设备相关联
EVO可以作为半自动、多模式工作流程的一部分，通过重新定位感兴趣区域，并以多种方式收集数据，形成信息的完整性。将光学和电子显微镜图像合并起来进行材料表征或零件检验，或者将 EVO 与蔡司光学显微镜相关联，进行关联颗粒度分析。

专家用户

优选用户界面: SmartSEM

专家用户可以获取以及设定高级的成像参数和分析功能。

SmartSEM: 为有经验用户使用的控制界面

新手用户

优选用户界面: SmartSEM Touch

新手用户可以使用预定义的工作流程和常用的一些参数-非常适合初学者。

SmartSEM Touch: 是一款在触摸屏电脑上运行的简化图形用户界面

蔡司 SmartEDX

用于常规SEM显微分析应用的一体化EDS解决方案

如果单采用SEM成像技术无法全面了解部件或样品，研究人员就会借助能谱仪（EDS）来采集元素化学成份的空间分布信息。

针对常规显微分析应用进行了优化

SEM和EDS的搭配使用必须经过谨慎细致的考量。EVO上的SmartEDX非常适用于常规显微分析应用，尤其对于数据重复性要求高的客户而言更是理想的选择。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探头电流（典型的EVO工作条件）下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的优异透过率, SmartEDX更适合于探测到来自轻元素的低能X射线。

工作流程引导的图形用户界面

SmartEDX旨在提高多用户环境中的易用性和工作流程重复性。与其他蔡司工作流程引导的软件解决方案（如：SmartSEM Touch，ZEN core或EVO 的Shuttle＆Find）一样，SmartEDX软件易于学习，使用直观，并有助于确保在SEM上执行分析任务的重复性，尤其是在多个操作者使用该系统的环境中。

全方位的蔡司服务和系统支持

SmartEDX由蔡司提供全方位支持，因此该EDS解决方案非常适合那些希望精简分析设备供应商数量的客户。所有安装、预防性维护、保修、诊断和维修、备件物流以及整个系统服务合同中的内容均由蔡司全面负责，为您的SEM分析解决方案提供一站式的的支持。

蔡司 EVO 应用案例

应用实例

生产与装配企业

质量分析/质量控制

失效分析/金相分析

清洁度检查

颗粒的形态和化学分析，以满足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的标准

非金属夹杂物的分析

锌磷酸盐电涂层，高真空模式下使用 SE 探测器成像

汽车座椅垫泡沫，可变真空模式下使用BSE探测器成像，样品未喷涂导电层

不锈钢断口表面，高真空模式二次电子成像

钢铁和其它金属

对金属样品和夹杂物的结构、化学和结晶学进行成像和分析

相、颗粒、焊缝和失效分析

镀锌低碳钢的剖面，使用 EVO 15 上的二次电子探测器进行成像

用F80砂砾铝粉喷砂后的S355钢表面

采用选择性激光熔化的方法制备的钛合金 (Ti-6Al-4V)的表面，能够看出充分熔化区域的旁边有未融化的 Ti-6Al-4V 粒子和其他材料

原材料

地质样品的形态、矿物学和成分分析

对金属、断裂和非金属夹杂物的结构进行成像和分析

微粉化和造粒过程中原料化学成分和活性成份的形态和成分分析

蓝片岩矿物图，样品由S. Owen 提供

赞比亚大型铜冶炼厂剩余的铜渣颗粒，样品由英国 Petrolab 提供

加拿大魁北克北部的花岗岩，含有稀土元素，包括贯穿样品的萤石脉和部分区域的锆石

材料科学研究

用于研究导电和不导电材料样品的特征

自愈合矿物的扩展和裂纹架桥网络，形成了类似花状的水镁矿结构，在12kV下使用二次电子探测器成像

电池组件中的石墨烯泡沫结构，在高真空下使用二次电子探测器成像

航空航天复合材料，在10 kV可变压力模式下使用 C2D 探测器成像

电子半导体

目视检查电子元件、集成电路、MEMS 器件和太阳能电池

铜丝表面及晶体结构的研究

金属腐蚀研究

断面失效分析

Wire bonding线脚检查

电容表面成像

Wire bond检查，在高真空或可变真空模式下用二次电子成像

镍层腐蚀的二次电子成像

二次电子图像观察的在电子产品上生长的晶须